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洁净室验收规范(二)
来源:本站 时间:2015-06-06 14:48:29
14.2.5 空气洁净度等级的检测是对粒径分布在0.1μm至5.0μm之间的悬浮粒子的粒径和浓度进行测试,空气洁净度等级应符合设计和建设方的要求。对于超微粒子(<0.1μm)、宏粒子(>5.0μm)的测试结果,应根据业主或设计要求确定。 
检测方法:附录B。 检测数量:全数检查。 
14.2.6 根据生产工艺要求,应进行洁净室内浮游菌、沉降菌的检测。 检测方法:附录B。 检测数量:全数检查。 
14.2.7 风量和风速的测试,对单向流洁净室的送风量是以测试的平均送风速度乘以送风截面积确定;非单向流洁净室的送风量可采用直接测试或测出风口风速乘以出风截面积确定。 单向流洁净室以送风平均速度、非单向流洁净室以送风量计算得到的换气次数。 检测方法:测试方法见附录B。 检测数量:按房间或区域,全数检查。 
14.2.8 压差测试,为检验洁净室(区)与其周围环境之间的规定静压差,应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行静压差测试。 检测方法:测试方法见附录B。 检测数量:按房间或区域,全数检查。 
14.2.9 空气过滤器安装后的检漏,为检验洁净室(区)的高效空气过滤器的完好性和安装质量,在安装后的空气过滤器的上风测引入测试气溶胶,并及时在送风口和过滤器周边、外框与安装框架之间的密封处进行扫描检漏。检漏测试可在“空态”或“静态”进行。 检测方法:测试方法见附录B。 检测数量:按空气洁净度等级和建设方要求确定,抽检数量不低于30%。 
14.2.10 为确认洁净室(区)的气流流型和气流方向,在上述检测达到要求后进行气流流型检测。 检测方法:见附录B。 检测数量:单向流、混合流洁净室(区)抽检50%以上,非单向流洁净室(区)抽检30%以上。 
14.2.11 为确认净化空调系统对洁净室(区)的温度、相对湿度的控制能力,应在净化空调系统连续、稳定运行后进行检测,达到设计要求。 检测方法:见附录B。 检测数量:按房间或区域,全数检查。 
14.2.12 对于空气洁净度等级严于5级的洁净室(区),应对围护结构进行密闭性测试,以确认有无被污染的空气从相邻洁净室(区)或非洁净室(区)通过吊顶、隔墙或门窗渗漏进入洁净室(区)。 检测方法:见附录B。 检测数量:抽检30%以上。 
14.2.13 洁净室(区)内的噪声测试,应在“空态”或与建设单位协商的状态下进行检测,室内噪声达到标准规定值。 检测方法:见附录B。 检测数量:按房间或区域,全数检查。 
14.2.14 洁净室(区)的照度测试,应在室内温度稳定和光源光稳定状态下进行,室内照度值达到设计要求。 检测方法:见附录B。 检测数量:按房间或区域,全数检查。 
14.2.15 对于非单向流洁净室,应进行自净时间的检测。 检测方法:见附录B。 检测数量:按房间或区域,全数检查。 
14.2.16 当洁净厂房中设有需微振控制的精密设备仪器时,应对微振控制设施的建造质量进行检测,达到设计要求。 检测方法:见附录B。 检测数量:按房间或区域,全数检查。 
14.2.17 根据生产工艺要求,应对洁净室(区)的地面、墙面和工作台面的表面导静电性能进行检测,达到标准或设计要求。 检测方法:见附录B。 检测数量:按房间或区域,全数检查。 
14.2.18 洁净厂房的每项测试,均应编写测试报告,其主要内容有; 
1 测试单位的名称、地址,测试人和测试日期; 
2 所测设施名称及毗邻区域的名称和测试的位置、座标; 
3 设施 类型及相关参数; 
4 测试项目的性能参数、标准,包括占用状态等; 
5 所采用的测试方法、测试仪器及其相关的说明文件; 
6 测试结果,包括测试记录、分析意见; 
7 结论。   

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